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等离子体离子轰击多元素纳米光刻:从制备到卓越的H2传感应用

2019-02-18

含有两种或两种以上金属的homo和杂合物的复杂纳米结构的发展是纳米技术中的一个相当大的挑战。然而,以往的方法在很大程度上局限于依赖于元素相容性的金属组合的数量,以及纳米结构的复杂形状控制。在本研究中,通过使用低能量氩离子轰击,我们朝着解决这些限制迈出了重要的一步。多层膜被蚀刻并在预图样的侧壁上重新溅射,这是一种二次溅射现象。与前驱体混合方法相比,大多数金属组合物是可以制备的。通过控制多层膜的层序和厚度来调节混合程度。此外,特征形状和尺寸的控制是通过改变预先模式或控制离子束的角度。该方法与之前报道的基于Pd‐的H2传感器相比,响应时间最短(2秒至1% H2),且Pd/Au和Pd/Pt双金属线阵的检测限在百万分之一以下。本研究希望实现一种可用于各种应用的多元素族。

——文章发布于2018年12月14日


原文来源:http://portal.nstl.gov.cn/STMonitor/home/bianyi_recordshow.htm?controlType=openhome&link=las&id=71633